¼¶À¯ Ç¥¸é¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿À¿° µî Ç°Áú ºÒ·®À» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±æÀÌ ¿·È´Ù. FITI½ÃÇ迬±¸¿ø(¿øÀå ½É¿ìÁ¤)Àº ¡°Àç·á Ç¥¸éÀÇ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÃÊÁ¤¹Ð Ç¥¸é ºÐ¼® Àåºñ ToF-Mini SIMS(ÀÌÂ÷ ÀÌ¿ÂÁú·®ºÐ¼®±â: Millbrook»ç)¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ±¸ÃàÇØ Á¦Ç°ÀÇ Áß¿ä Ư¼ºÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â ¿À¿°, Ȳº¯, ºÎ½Ä, Ç°Áú ºÒ·® µî Ç¥¸é¿¡¼ ¹ß»ýµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¹®Á¦µé¿¡ ´ëÇØ ±Ù¿øÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥À» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¹°ÁúÀÇ Ç¥¸éÀº Ç×»ó ¿ÜºÎ¿Í Á¢ÇÏ°í ÀÖ¾î ÈÇÐÀû, ¹°¸®ÀûÀÎ ¹ÝÀÀÀÌ ³»ºÎº¸´Ù ¸ÕÀú ÀϾ´Â °÷À¸·Î ÃÖ±Ù ¼¶À¯ Á¦Ç°À» ºñ·ÔÇÑ °íºÐÀÚ ¼ÒÀç, ¹ÝµµÃ¼, ±Ý¼Ó ¼¼¶ó¹Í µî ¿©·¯ ºÐ¾ßÀÇ »ê¾÷ÀÌ ¹ßÀüÇÏ¸é¼ Àç·áÀÇ Ç¥¸é ÃøÁ¤ ¹× ºÐ¼®ÀÌ Å« ºñÁßÀ» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¼¶À¯Á¦Ç°Àº Ç¥¸é°ú »ö»óÀÇ ¿ÜºÎ °¡¼Óȯ°æÀÇ º¯È¿¡ ´ëÇÑ Á÷Á¢ÀûÀÎ Á¤·®Àû Æò°¡ÀÇ Çʿ伺ÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù.
»ö»ó°ú ¹°¼ºµéÀ» °£Á¢ÀûÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÔÀ¸·Î½á ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾ú´ø µ¥ ºñÇØ Á÷Á¢ÀûÀÎ Á¤·®Àû Æò°¡¸¦ ÇÔÀ¸·Î¼ ´õ ³ªÀº Á¦Ç°°ú ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ´õ ½Å¼ÓÇÏ°Ô Á¦Ç° °³¹ß°ú Ç°Áú °ü¸®¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù.
ToF-Mini SIMS¸¦ È°¿ëÇÑ Ç¥¸é Ư¼º ºÐ¼®¿¡´Â ¢¹ Surface Spectrum: Ç¥¸éÀÇ ´ë»ó¹°Áú È®ÀÎ ¢¹ Surface Imaging: ppm ¼öÁØÀÇ ¹°Áú ºÐÆ÷µµ ¢¹ Depth Profiling: 1nm~1¥ìm ±íÀÌÀÇ ¹°Áú ºÐÆ÷ ¢¹ Elemenfal and Molecular Imaging: Ç¥¸é ¶Ç´Â ´Ü¸éÀÇ 3D À̹ÌÁö ¸Ê µîÀÌ Æ÷ÇԵȴÙ.
±è°æȯ ±âÀÚ
nwk@fi.co.kr
- Copyrights ¨Ï ¸ÞÀ̺ñ¿ø(ÁÖ) ÆмÇÀλçÀÌÆ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö -